[美股百科] 拉姆研究公司

美股公司 · 2019年05月28日 · 179 次阅读

公司简介

Lam Research Corporation设计,制造,营销,翻新和服务用于制造全球集成电路的半导体加工设备。该公司提供ALTUS系统,用于沉积用于钨金属化应用的保形膜;用于铜大马士革制造的SABRE电化学沉积产品; SOLA紫外线热处理产品用于薄膜处理; SPEED gapfill高密度等离子体化学气相沉积(CVD)产品;前锋单晶圆原子层沉积(ALD)产品;和VECTOR等离子体增强CVD ALD产品。

它还为介电蚀刻应用提供Flex; Kiyo用于导体蚀刻应用;用于硅通孔蚀刻应用的Syndion;和Versys金属产品用于金属蚀刻工艺。此外,该公司还提供Coronus斜面清洁产品,以提高模具产量;和Da Vinci,DV-Prime,EOS,SP一起解决一系列晶圆清洗问题。

此外,它还提供Metryx质量计量系统,用于高纵横比蚀刻,保形和ALD /侧壁沉积,水平处理,薄膜密度监测,碳掩模开放和晶圆清洁/聚合物去除应用;和传统产品。 Lam Research Corporation成立于1980年,总部位于加利福尼亚州弗里蒙特。

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